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在显示面板、光学薄膜、精密光学元件的量产与质检环节,微观层厚不均、亚表面微裂纹、层间脱泡、贴合空洞、表面微形貌瑕疵等微小缺陷,是影响产品透光性、平整度、使用寿命的核心隐患。传统检测手段各有短板:接触式测厚仪易划伤精密膜层、激光共聚焦仅能观测表面无法层析、显微镜只能二维成像、X射线检测存在辐射风险。
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