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SD-OCT|半导体/PCB/微封装 精密无损检测方案

发布日期:2026-09-17 09:41:31

在半导体封装、PCB 线路板、微器件制造环节,超薄防护涂层厚度偏差、封装胶体内部空洞、层间界面脱粘、微流控结构缺陷等微观隐患,是引发器件漏电、绝缘失效、长期可靠性下降的核心诱因。传统检测手段存在明显短板:金相切片属于破坏性检测;激光共聚焦仅能观测样品表层;超声检测分辨率不足;X 射线存在电离辐射,使用场景受限。

谱域光学相干层析技术(SD-OCT),具有高轴向分辨率、非接触无损、高速三维成像的技术特性,专为电子精密制造、半导体微封装、PCB/FPC、微流控器件打造,可同时获取样品表面三维形貌 + 亚表面分层结构,解决传统设备只能看表面、无法测内层、只能切片抽检的行业痛点。

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鉴知SD2000三维扫描成像系统


SD-OCT三维扫描成像的优势

?高轴向分辨率:SDOCT使用宽带光源可实现 1~4μm 轴向分辨率,能够精准分辨薄涂层、微空洞、界面微缺陷。非常适合派瑞林涂层、三防漆、底部填充胶这类薄层结构测量。对于电子封装中微小空洞、局部脱粘等细微缺陷,具备更强识别能力。

?完全无损检测:无辐射、非接触,采用光学手段不会划伤柔性 FPC、裸芯片、精密微结构;无需对样品进行研磨、切片等破坏处理,良品可直接复检,满足成品无损质检需求。

?高速量产适配:快速三维成像,一次扫描同时得到表面3D形貌+深度分层结构,可用于实验室研发及产线自动化在线检测。

适用检测对象

采用840近红外光源,适合各类透明/半透明高分子薄层结构(涂层、胶层、塑封层、薄膜、微流控);金属底层结构、深色厚不透明材料不适用。

?PCB / FPC 领域:三防漆、派瑞林涂层、绝缘胶层、底部填充胶;检测膜厚均匀性、针孔、缺胶、层间剥离、气泡缺陷。

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?半导体微封装:LED/MEMS/分立器件塑封、透明封装胶、填充胶;检测内部微空洞、裂纹、脱层、填充不良、溢胶形貌。

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?半微流控芯片与精密微结构:PDMS/PMMA 微流控芯片、精密键合结构;检测通道三维轮廓、键合气泡、塌陷、层间贴合缺陷。

 

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微流控芯片

?柔性电子与传感器模组:薄膜保护层、封装胶层厚度、表面翘曲、层间褶皱与剥离检测。


可检测核心指标

1、薄膜/胶层高精度厚度测量、全域厚度分布云图。重建样品微米级三维轮廓,量化表面粗糙度、平面度、翘曲变形、凸起凹陷、压痕颗粒。可替代接触式轮廓仪、白光干涉仪完成表面测量,同时不存在划伤精密器件的风险。

2. 亚表面分层结构与内部缺陷检测(核心独有能力)

✅ 多层介质逐层厚度自动测量,输出全域厚度云图;

✅ 识别胶层、涂层内部气泡、微孔、微裂纹;

✅ 定位界面脱粘、分层、局部未贴合区域;

✅ 观测封装胶体填充状态,判断缺胶、溢胶、空洞缺陷;

✅ 微流控通道内部结构三维可视化。


?高灵敏度:面阵探测器能够接收更大面积的光源,从而获取更高的光谱强度,尤其适合弱信号的探测。

?高分辨率:商用光纤光谱仪中常见的面阵探测器,其像素矩阵可达数百万甚至更高,确保了图像的高清晰度与细节丰富性。

?低暗噪声与高信噪比:这些特性使得面阵探测器在荧光探测、拉曼信号分析、吸光度测量等弱光探测领域表现出色,赢得了科研级客户的广泛认可。

方案价值

 

?替代切片破坏检测,零样品损耗,大幅降低测试成本

?可视化缺陷定位,为喷涂、点胶、封装工艺迭代提供精准数据

?兼顾研发验证 + 量产质检,适配全流程品质管控

?填补传统视觉、共聚焦、超声设备的检测盲区,提升产品可靠性与良率

 

总结

SD-OCT系统面向 PCB、半导体封装、微流控等电子精密制造场景,提供薄层高分子结构高精度检测的成熟可行方案。依托超高轴向分辨率、非接触三维层析成像能力,完美解决超薄防护涂层测厚、封装内部空洞分层检测、微结构形貌表征等行业痛点。