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半导体、光学镀膜、平板显示制造中,纳米级薄膜精度决定产品成败,椭偏仪是行业核心测量利器。其关键在于光纤光谱仪—— 负责解析反射光光谱,直接决定测量精度、速度与稳定性。
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目前主流光谱仪多采用Czerny‑Turner 反射式光路结构,该结构以两面凹面反射镜分别作为准直镜与成像镜,使用平面反射光栅作为色散元件实现分光。
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光纤光谱仪的光学评价参数一般包括波长范围、分辨率、信噪比、灵敏度等。涉及到的元件参量有光路结构、狭缝宽度、准直反射镜的焦距、光栅常数、像素大小与像素点个数。
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